730 晶圆厂基地 (第2/2页)

他一边引路一边介绍：“我们这座综合研究基地现在主要分为三个大区。东区是晶圆厂及相关材料研究中心，拥有各种高精尖超净间实验室二十九个；中区是光刻机核心部件研发与集成测试区，有大型实验室三十一个，涉及光学系统、精密机械、双工件台、激光光源等领域；西区则是辅助研发区与生活保障区，有实验室近二十个，涵盖了计算光刻、检测、软件控制等领域。目前基地共有各类研究人员接近八百个，名单我会在之后整理发到您手上……”
　　
　　江南听得入迷，仔仔细细观察着园区的陈设。
　　
　　穿过宽阔干净的走廊，透过观察窗能看到一间间实验室内，许多研究人员身着无菌服在各种仪器设备前忙碌着。
　　
　　离子注入机、刻蚀机、光电检测机、薄膜沉积设备……许多冷僻专业，甚至江南只在最前沿的学术报告中见过的设备一一呈现在眼前，完备崭新的设施看得他甚至有些跃跃欲试。
　　
　　林逸盯着其中一台超净设备，惊得嘴巴都长大了：“是国家级的实验室到底是不一样，没记错的话，这台超净设备好像是上个月德国实验室才发布的，现在根本就没往外售卖……”他隐秘得戳了戳江南，伸手比出五个手指“听说就这一台，至少要五千万。”
　　
　　“我的天……我以前做梦都不敢想，这辈子能有幸加入这样的团队……”
　　
　　李欣然的神色也隐隐激动，胸口满是身为科研工作者的激动和豪情。
　　
　　“这么用心的实验室，我们一定会努力的。”
　　
　　众人边走边说，来到中区控制中心后，小王向江南详细汇报了目前的项目进展。
　　
　　“江南同志，我们的光刻机研发在光源和物镜系统方面取得了一定突破，比国际通用机器效能提升了百分之五十左右，但在光源稳定性与双工件台精度的协同控制方面，以及极紫外光与光刻胶反应的效率优化这几个关键节点上仍然没有突破。”
　　
　　“至于晶圆厂的相关工艺研究，还处于比较初期的技术积累和设备调试阶段，需要攻克的难关有很多。”
　　
　　江南认真听着，目光扫过控制中心大屏幕上复杂的数据流和模型图，心中对项目进程有了更清晰的把握。
　　
　　就在这时，旁边一扇密码门从内滑开，几名穿着全套无菌服的研究人员走了出来。
　　
　　为首那人一边走着，一边抬手摘下了密封头套，露出一张熟悉的脸庞。
　　
　　“江南，咱们又见面了。”