第327章 风起华盛顿 (第1/2页)

“不过它对我们而言，也不是完全没有价值的。
　　
　　各位，我下面说的，大家剩下学习的时间里一定要认真研究，重点关注。”
　　
　　陈磊说：
　　
　　“NIL光刻机路线不一定有未来，但它所蕴含的技术未必就没价值。
　　
　　我们完全可以把这项技术中有价值的给拆出来，用在我们的光刻机路线上。”
　　
　　陈磊的话，让在座的其他专家一下就打起了精神。
　　
　　“这几天我一直在复盘佳能那台FPA-1200NZ2C的每一个细节。
　　
　　它的核心那个纳米压印的‘模头’，以及配套的UV固化系统，对我们来说是毒苹果，因为它和我们的DUV体系不兼容，而且捆绑了材料陷阱，我们后续如果林总给不出解决办法，那么我认为我们必须坚决地把它剥离掉。”
　　
　　他拿起笔，在笔记本上NIL结构图的压印核心部分，画了一个大大的红叉。
　　
　　“但是，”他话锋一转，用笔圈出了结构图的另外三个部分，“这台机器的骨骼、神经和循环系统，对我们来说，有着非凡价值。”
　　
　　王工饶有兴致地问：“陈博士，具体说说？什么是它的骨骼、神经和循环？”
　　
　　陈磊博士：“骨骼，我指的是它的超精密工件台系统。”他指向图纸的底座部分。“NIL是接触式光刻，每一次对准和移动，对工件台的平顺性、稳定性和定位精度的要求，比我们想象的还要苛刻。
　　
　　佳能毕竟是光学和精密仪器巨头，他们在运动控制、减震和材料学上的积累非常深厚。
　　
　　我们的光刻机现在最大的瓶颈之一，就是工件台在高速运动下的稳定性和套刻精度。
　　
　　如果我们能彻底摸清佳能这套系统的设计逻辑、控制算法和驱动方式，哪怕只是学到七成，我们的套刻精度指标至少能再提升50%。
　　
　　这是我根据公开资料的猜测，具体多少，要等到我们把佳能的技术融入到我们的工艺之后才能有更进一步的具体判断。”
　　
　　王工摩挲下巴：“如果真能这样，我们的良品率还能提高一大截。”
　　
　　陈磊接着说道：“是的。
　　
　　然后是神经系统，它的全流程缺陷检测与测量单元。
　　
　　NIL的致命弱点是缺陷率，所以佳能肯定在机器内部署了全世界最顶级的实时检测系统，用来在压印前后快速扫描晶圆，定位纳米级的颗粒和图形错误。这套技术是通用的。
　　
　　王总，我们的产线现在主要依赖离线抽检，效率低，而且很多缺陷发现时已经晚了。
　　
　　如果我们能把这套神经系统移植或复制过来，集成到现有工艺流程里，我们的良率又能爬上一个大台阶。
　　
　　无论是国产生产线，还是说用ASML的那些生产线，都能用到这个系统。”
　　
　　“最后一个，循环系统呢？”另一位李工问道。
　　
　　陈磊说：“这就是我认为最有价值，也最意想不到的部分：喷墨式精准涂胶系统。”
　　
　　他指着NIL设备中那个类似打印喷头的装置：“传统的DUV光刻，是用旋转甩胶的方式给晶圆涂上光刻胶，超过95%的昂贵光刻胶都被浪费了。
　　
　　而NIL为了精准压印，开发了类似喷墨打印的技术，需要哪里有图形，就在哪里喷涂一滴树脂，用量极省，而且均匀性可控。”
　　
　　他看向李工慢慢说道：“李工，想象一下，如果我们能把这套喷墨技术嫁接到我们的DUV产线上，用来喷涂我们自己的光刻胶。
　　
　　这意味着什么？光刻胶成本能骤降90%以上，边缘效应和甩胶不均的问题将成为历史。”
　　
　　华国人就是这样，在没有路的时候也要找到路，陷阱也要给你找出价值来。
　　
　　只是陈磊想不到的是，林燃压根想的不是拆解，而是在此基础上来重构整个光学系统。
　　
　　华盛顿特区，哈特参议院办公大楼，听证会室内，室内的空气因愤怒和焦虑而显得格外沉闷。
　　
　　商业、科学和交通委员会的所有参议员都已就座，他们身后，是挤得水泄不通的媒体记者和来自各大航空航天承包商的、西装革履的说客。
　　
　　马斯克独自一人坐在证人席上，穿着一身略显不合身的深色西装。
　　
　　“局长先生，”委员会主席，一位来自德州的象党资深参议员，语气不善地开始了质询，“这个国家的人民想知道，两周前，当华国人在月球上用核反应堆和电磁轨道，像打高尔夫一样把东西送回地球时，我们NASA在哪里？我们的月球计划在哪里？为什么我们花了纳税人上千亿美元，得到的却只有几页PPT和不断延期的阿尔忒弥斯计划？
　　
　　唯一一次去月球，却还依赖来着华国的技术？”
　　
　　记者的闪光灯像风暴一样亮起。
　　
　　马斯克没有看参议员，而是对着面前的麦克风，用他那特有的、略带停顿的语调，平静地开口了。
　　
　　“参议员先生，你的问题，也正是我在过去长达半年时间里，作为NASA局长，每天都在问我自己的问题。”他的声音通过扩音器，传遍了整个房间：“而在调查了数十个项目之后，我找到了一个能完美回答你所有疑问的样本。”
　　
　　他向助手示意。
　　
　　助手将一张巨大的、打印精美的彩色展板，立在了他身旁。
　　
　　展板上，是一辆造型极具未来感的月球探测车，正在月球南极的陨石坑边缘进行勘探。
　　
　　“女士们，先生们，这就是VIPER：挥发性物质调查极地探测车，”马斯克指着展板：“按照计划，它本应在明年，搭乘‘猎鹰重型’火箭，由Astrobotic公司的着陆器送上月球，去寻找我们建立月球基地最关键的水冰资源，这是一个耗资4.3亿美元的伟大项目。”
　　
　　他停顿了一下，目光扫过在场的每一个人：
　　
　　“它看起来很棒，不是吗？但有一个小问题，它不存在。”
　　
　　整个听证会现场，一片哗然。
　　
　　因为这玩意大家记得很清楚，去年通用航天才把它送上了月球。
　　
　　还因为上面所存在的小米LOGO而引发热议。
　　
　　结果马斯克现在告诉大家，这玩意不存在？
　　
　　马斯克无视了骚动，继续揭开这个疮疤。
　　
　　“根据官方文件，VIPER项目，继承了上一个已被取消的、名为资源勘探者ResourceProspector，缩写为RP的项目的技术遗产。
　　
　　RP项目，从立项到2018年被取消，总共花费了纳税人超过2.5亿美元。
　　
　　也就是这两个项目一共花费了联邦高达6.8亿美元，但是，这个项目实际上不存在。
　　
　　我让我的团队，调出了RP项目的所有技术档案。你们猜我们发现了什么？”他看着参议员们，“我们发现了大量的概念图、数千页的PPT材料、美好的愿景和永远无法达成的项目时间表。
　　
　　但我们没有发现任何一件可以飞行的硬件，甚至连一个合格的工程原型都没有。
　　
　　它是一个只存在于纸上的项目。
　　
　　所以，VIPER从一个‘零’项目，继承了‘零’遗产。”
　　
　　台下的骚乱更大声了，其中对NASA人浮于事有所了解的专家意识到大事不妙。
　　
　　马斯克接着用悲伤的语气说道：“我知道你们会问，我们去年不是才把它送上月球吗？
　　
　　viper概念车现在不是还在月球上飞驰吗？
　　
　　它不是一直在向地球传回数据吗？为什么我会这样说，说它只拥有了更漂亮的PPT，更精细的概念图，以及与RP项目如出一辙的不断超支的预算和不断延误的时间表。
　　
　　它不是已经有实物了吗？
　　
　　抱歉，各位，请回想一下，它是不是有小米的LOGO？
　　
　　它的车头是不是出现过小米的LOGO，我们后来在纽约时报、华尔街日报、华盛顿邮报这些国内最好的媒体上，是不是看到小米和通用航天的合作新闻？
　　
　　

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